첨단 소재 가공 및 계측의 발전은 고성능 디바이스의 지속적인 성능 향상과 소형화에 중요한 역할을 해왔습니다. 저희 연구실은 레이저-물질 상호작용 기반의 첨단 소재 가공 및 진단 기법을 개발합니다. 이를 통해 다양한 신소재 (반도체, 저차원, 양자점 물질) 및 최신 과학적 개념을 유용한 디바이스 개발에 적용합니다. 구체적으로 저희 연구실은 i) 원자층 정밀 식각, 도핑, 합성, ii) 초고속, 초고해상도 3D 적층 제조, iii) 웨이퍼 규모의 다중 모드 진단 및 데이터 기반 소자 성능 예측, 공정 최적화와 관련된 연구를 수행합니다. 이러한 혁신을 통해, IoT, 에너지, 헬스케어, 국방분야에 적용가능한 첨단 소재/기술 기반 고성능 디바이스를 개발하며, 궁극적으로 연구실 단위에 머물고 있는 나노테크놀로지를 산업으로 이전하는데 기여하고자 합니다.
Advancements in materials fabrication and metrology have played a crucial role in the ongoing development and miniaturization of high-performance electronic and photonic devices. My research program focus on applying fundamental discovery of science and technology to the new manufacturing process and related device applications, including 1) an atomic layer precision etching, doping, synthesis, ii) a high-throughput, high-resolution 3D additive manufacturing, and iii) wafer-scale multimodal characterization and data-driven prediction of device failure and process optimization. These innovations will bridge the gap between fundamental discoveries in nanoscience and technology and practical, commercially viable devices with unprecedented performances, and ultimately facilitate “nanotechnology from lab to industry”.