<붙임> 100대 전략품목

분야	100대 전략품목명
반도체장비(22)	극미세(2x㎚급) 초정밀 식각 장비
	30㎚급 Buffing용 low CoO CMP 장비
	극저온 ALD SiO2/Si3N4 증착 장비
	Cu배선용 ALD barrier/seed 증착 장비
	Low-k 증착 장비
	H/M 용 PECVD a-C 증착 장비
	2x㎚급 450㎜용 Poly Etcher
	H2 Asher
	차세대 W, Oxide CMP 장비
	450㎜ dry cleaning 장비
	450㎜ PECVD 장비
	Cu gap fill용 CVD 장비
	2x㎚급 450㎜ Oxide Etcher
	초미세 패턴 공정 및 Cu/low-k 도입 대응 water mark free TPT 세정장비
	캐패시터 유전체 및 전극 ALD 장비
	High-k gate/metal electrode ALD 장비
	금속막 증착용 PVD cluster tool
	Electro less plating 장비
	450㎜ Cu fill 장비
	Wafer-to-Wafer align/bonding 장비
	450㎜ Flash RTP
	TSV용 Micro Bump Interconnetcion chip Bonder 및 via filling tool
디스플레이장비(6)	친환경 대면적(G10 이상) Dry Etcher
	4G급 OLED 조명용 대면적 증착봉지 장비
	G10 이상급 LCD PECVD 장비
	초대면적 LCD Air Floating Coater
	6G급 OLED 대면적 인쇄장비
	2G급 플렉서블 Roll-to-Roll패터닝 장비
LED 장비(12)	대용량 MOCVD
	LED Encapsulation 장비 *
	LED 스크리닝 장치 및 가속수명 시험 장치 *
	6"급 에피웨이퍼 기반 수직형 LED 칩용 laser lift-off 장비 *
	Contact aligner
	웨이퍼레벨 에피평가장비
	Laser scriber
	Die/Wire Bonder
	Molder(통합공정)
	e-beam Evaporator
	ICP(sapphire, GaN)
	LED 후공정 In-Line 자동화 장비
그린수송장비(15)	수직형 라인센터
	수평형 라인센터
	복합 터닝센터
	캠샤프트용 멀티그라인더
	전용 하드터닝 머신
	기어 연삭기(그린카 핵심전동부품용)
	멀티헤드/터렛 고유연 가공기
	대용량공구/다수팔렛 5축 가공기
	헤드틸팅형 5축가공기
	고속 권선기(그린카 전동모터부품용)
	복합 다기능 가공기(Mill-Turn Center)
	초대형 플로워타입 보오링머신
	대형 수평선반
	중형 크랭크샤프트연삭기
	대형 기어 연삭기
바이오장비(14)	차세대 DNA 시퀀서*
	바이오 멸균기
	생물시료 제작장비
	융합바이오 이미징 장비
	라만 검색기 *
	세포배양기
	바이오 어레이어
	바이오 스캐너
	초고속원심분리기
	고성능 바이오 액체 크로마토그래프 시스템
	Living cell imaging system
	형광분석기
	전자현미경
	Cell manipulation
의료장비(10)	플라즈마 멸균기
	복합 유방암 진단기기
	초음파 영상 진단기
	초정밀 외과용 수술 로봇
	X선 발생장치
	Patient Monitor
	의료용 소프트웨어
	디지털 Radiography
	Dental CT
	레이저 치료/수술기
방송장비(21)	3D 카메라 *
	3D/UHD 방송 제작용 모니터
	3D/UHD 영상 신호 발생기 및 패턴 제너레이터
	3D방송 IRD(Integrated Receiver Decoder)
	2.5㎾ DTV 송신기
	장비간 인터페이스 및 제어용 마스터 스위처 및 믹서
	3D/UHD 그래픽 문자 발생기
	3D/UHD 온에어 그래픽 처리기
	3D/UHD용 Matrix 라우터
	UHDTV 송신용 변조기
	LED 조명 장비(Digital Dimmer)
	UHD방송용 Encoder/Mux 장비
	인텔리전트 자동송출 시스템
	디지털광고 삽입기
	3D 방송용 서버 및 저장 장치
	UHD 방송용 서버 및 저장 장치
	다매체/다포맷 미디어 지원 인제스트 서버 및 스트리밍 서버
	2.5㎾ 디지털 FM 라디오 송신기
	3DTV 송신용 변조기
	500W 디지털 FM 라디오 중계기
	IP Encapsulator/Decapsulator

* 전략품목중 시범사업 수행과제